Оптичний дизайн має широкий спектр застосувань у галузі напівпровідників. У машині для фотолітографії оптична система відповідає за фокусування світлового променя, випромінюваного джерелом світла, і проектування його на кремнієву пластину, щоб викрити малюнок схеми. Тому розробка та оптимізація оптичних компонентів у системі фотолітографії є важливим способом покращення продуктивності фотолітографічної машини. Нижче наведено деякі з оптичних компонентів, які використовуються у фотолітографічних машинах:
Мета проекції
01 Проекційний об’єктив є ключовим оптичним компонентом літографічної машини, який зазвичай складається з серії лінз, включаючи опуклі лінзи, увігнуті лінзи та призми.
02 Його функція полягає в тому, щоб зменшити малюнок схеми на масці та сфокусувати його на пластині, покритій фоторезистом.
03 Точність і продуктивність проекційного об’єктива мають вирішальний вплив на роздільну здатність і якість зображення літографічної машини
Дзеркало
01 Дзеркалавикористовуються для зміни напрямку світла та направлення його в правильне місце.
02 У EUV літографічних машинах дзеркала особливо важливі, оскільки EUV світло легко поглинається матеріалами, тому слід використовувати дзеркала з високою відбивною здатністю.
03 Точність поверхні та стабільність відбивача також мають великий вплив на продуктивність літографічної машини.
Фільтри
01 Фільтри використовуються для видалення небажаних довжин хвиль світла, покращуючи точність і якість процесу фотолітографії.
02 Вибравши відповідний фільтр, можна гарантувати, що світло певної довжини хвилі потрапляє в літографічний апарат, тим самим підвищуючи точність і стабільність процесу літографії.
Призми та інші компоненти
Крім того, літографічна машина також може використовувати інші допоміжні оптичні компоненти, такі як призми, поляризатори тощо, щоб відповідати конкретним вимогам до літографії. Вибір, проектування та виготовлення цих оптичних компонентів повинні суворо відповідати відповідним технічним стандартам і вимогам, щоб забезпечити високу точність і ефективність літографічної машини.
Підсумовуючи, застосування оптичних компонентів у сфері літографічних машин має на меті покращити продуктивність і ефективність виробництва літографічних машин, таким чином підтримуючи розвиток промисловості мікроелектроніки. З постійним розвитком технології літографії оптимізація та інновації оптичних компонентів також забезпечать більший потенціал для виробництва чіпів наступного покоління.
Щоб отримати додаткові відомості та поради експертів, відвідайте наш веб-сайт за адресоюhttps://www.jiujonoptics.com/щоб дізнатися більше про наші продукти та рішення.
Час публікації: 02 січня 2025 р
