Оптичний дизайн має широкий спектр застосувань у напівпровідниковому полі. У фотолітографічній машині оптична система відповідає за фокусування світлого променя, що випромінюється джерелом світла, і проектуючи його на кремнієву пластину, щоб викрити схему схеми. Тому проектування та оптимізація оптичних компонентів у системі фотолітографії є важливим способом покращення продуктивності фотолітографічної машини. Нижче наведено деякі оптичні компоненти, що використовуються на фотолітографії:
Проекційна мета
01 Мета проекції є ключовим оптичним компонентом у літографічній машині, зазвичай складається з ряду лінз, включаючи опуклі лінзи, увігнуті лінзи та призми.
02 Його функція полягає в тому, щоб зменшити схему схеми на масці та зосередити її на вафлі, покриті фоторезистом.
03 Точність та виконання цілей проекції мають вирішальний вплив на роздільну здатність та якість зображень літографічної машини
Дзеркало
01 Дзеркалавикористовуються для зміни напрямку світла та направлення його до правильного місця.
02 У літографічних машинах EUV дзеркала особливо важливі, оскільки світло EUV легко вбирається матеріалами, тому слід використовувати дзеркала з високою відбивною здатністю.
03 Точність поверхні та стабільність відбивача також мають великий вплив на продуктивність літографічної машини.
Фільтри
01 фільтри використовуються для видалення небажаних довжин хвиль світла, підвищення точності та якості процесу фотолітографії.
02 Вибравши відповідний фільтр, можна забезпечити, що лише світло певної довжини хвилі потрапляє на літографічну машину, тим самим підвищуючи точність та стабільність процесу літографії.
Призми та інші компоненти
Крім того, літографічна машина також може використовувати інші допоміжні оптичні компоненти, такі як призми, поляризатори тощо, для задоволення конкретних вимог літографії. Вибір, проектування та виготовлення цих оптичних компонентів повинні суворо дотримуватися відповідних технічних стандартів та вимог, щоб забезпечити високу точність та ефективність літографічної машини.
Підводячи підсумок, застосування оптичних компонентів у галузі літографічних машин має на меті підвищити ефективність та ефективність виробництва літографічних машин, тим самим підтримуючи розробку виробничої галузі мікроелектроніки. Завдяки постійному розвитку літографічних технологій оптимізація та інновація оптичних компонентів також забезпечать більший потенціал для виготовлення мікросхем нового покоління.
Для отримання додаткової інформації та експертних порад відвідайте наш веб -сайт за адресоюhttps://www.jiujonoptics.com/Щоб дізнатися більше про нашу продукцію та рішення.
Час посади: 02-2025 січня
