Оптична конструкція має широкий спектр застосування в галузі напівпровідників. У фотолітографічній машині оптична система відповідає за фокусування світлового променя, що випромінюється джерелом світла, та проектування його на кремнієву пластину для експонування схеми. Тому проектування та оптимізація оптичних компонентів у фотолітографічній системі є важливим способом покращення продуктивності фотолітографічної машини. Нижче наведено деякі оптичні компоненти, що використовуються у фотолітографічних машинах:
Мета прогнозування
01 Проекційний об'єктив є ключовим оптичним компонентом літографічної машини, який зазвичай складається з низки лінз, включаючи опуклі лінзи, увігнуті лінзи та призми.
02 Його функція полягає у зменшенні схеми на масці та фокусуванні її на пластині, покритій фоторезистом.
03 Точність та продуктивність проекційного об'єктива мають вирішальний вплив на роздільну здатність та якість зображення літографічної машини
Дзеркало
01 Дзеркалавикористовуються для зміни напрямку світла та спрямування його в потрібне місце.
02 У літографічних машинах EUV дзеркала особливо важливі, оскільки EUV-світло легко поглинається матеріалами, тому необхідно використовувати дзеркала з високою відбивною здатністю.
03 Точність поверхні та стабільність відбивача також мають великий вплив на продуктивність літографічної машини.
Фільтри
01 Фільтри використовуються для видалення небажаних довжин хвиль світла, покращуючи точність і якість процесу фотолітографії.
02 Вибравши відповідний фільтр, можна забезпечити потрапляння в літографічну машину лише світла певної довжини хвилі, тим самим підвищуючи точність і стабільність процесу літографії.
Призми та інші компоненти
Крім того, літографічний верстат може також використовувати інші допоміжні оптичні компоненти, такі як призми, поляризатори тощо, для задоволення конкретних вимог літографії. Вибір, проектування та виготовлення цих оптичних компонентів повинні суворо відповідати відповідним технічним стандартам та вимогам, щоб забезпечити високу точність та ефективність літографічного верстату.
Підсумовуючи, застосування оптичних компонентів у галузі літографічних машин спрямоване на підвищення продуктивності та ефективності виробництва літографічних машин, тим самим підтримуючи розвиток промисловості мікроелектроніки. З постійним розвитком технології літографії, оптимізація та впровадження інновацій у оптичні компоненти також забезпечать більший потенціал для виробництва мікросхем наступного покоління.
Щоб отримати більше інформації та порад експертів, відвідайте наш веб-сайт за адресоюhttps://www.jiujonoptics.com/щоб дізнатися більше про наші продукти та рішення.
Час публікації: 02 січня 2025 р.
